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本发明涉及一种喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料。具体涉及一种具有多层结构的喷涂涂层,其包含下层和表层,所述下层由含有稀土氧化物的喷涂涂层制成,所述表层由含有稀土氟化物和/或稀土氟氧化物的另外喷涂涂层制成,该多层的喷涂涂层具有23℃下的体积电阻率和200℃下的体积电阻率,23℃下的体积电阻率为1×109Ω·cm至1×1012Ω·cm,由200℃下的体积电阻率与23℃下的体积电阻率之比限定的体积电阻率的温度指数为0.1至10。
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