一种基于稀土超磁致伸缩材料的微型流量泵

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本发明公开了一种基于稀土超磁致伸缩材料的微型流量泵，包括第一SI基体和第二SI基体，第二SI基体的中部设有工作腔，且第二SI基体开有入料通道和出料通道，工作腔的下端口上固定着柔性厚膜，柔性厚膜中部固定着磁致伸缩薄膜，第二SI基体的下端面上表贴工作线圈，工作线圈连接着交流电路，磁致伸缩薄膜在工作线圈通电后而上下振动，从而带动柔性厚膜改变工作腔的内腔体积大小，进而实现流体从而从入料通道流入到工作腔内并从出料通道排出。本发明体积小，结构简单易于实现，适合大规模的生产，且能够输出非常微量的流体，适用范围广。