一种基于碲酸盐玻璃的光学微腔及其制备方法

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本发明公开了一种基于碲酸盐玻璃的光学微腔及其制备方法。以TeO2作为主要组分，并掺杂有Re2O3氧化物，Re为稀土元素，还可包含有ZnO、Na2O、BaO、TiO2和Al2O3中的一种或者几种的混合作为次要组分。光学微腔通过对硅片上的稀土掺杂碲酸盐玻璃薄膜进行分步刻蚀制成光学微腔，稀土掺杂碲酸盐玻璃薄膜通过溶胶凝胶法制备得到。本发明克服了传统基于硅酸盐玻璃材料的光学微腔非线性效应差，稀土掺杂发光效率低等缺点，易于实现高品质因子腔体和低阈值激光，该微腔尺寸可控，结构稳定，具有微型化，易集成和便于保存等特点，而且制备方法简单高效，容易操作，能够实现大面积制备。