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大尺寸稀土掺杂氟化钇钡单晶生长方法

2025-06-17 22:292350下载
文件类型:PDF文档
文件大小:523K
本发明提供的一种大尺寸稀土掺杂氟化钇钡晶体生长方法,在加热炉内,按质量百分比将{xReF3+(1-x)YF3} : BaF2=2:1, x=0~100%多晶料置于坩埚中,抽真空,向加热炉内先后通入氩气;用控温仪控制加热功率使之熔化,坩埚内液面与炉内气体流动进行热交换形成轴向温度差,坩埚壁与坩埚中心形成径向温度差,引起熔体的自然对流;再用铂金夹头将BaY2F8籽晶固定于籽晶杆,下降籽晶与熔体接触进行氟化物晶体生长;当氟化物晶体生长到设定尺寸时,开始退火,以20°C/小时的降温速率降温至室温,通过调节转速和加热功率,直至晶体生长结束与熔体脱离,在坩埚内退火,获得大尺寸氟化物晶体。本发明解决了氟化物熔体流动性能差造成晶体生长困难、晶体中气泡多等生长不利因素。


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