一种应用于液相外延生长的组合式纯化母液的方法

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本发明公开了一种应用于液相外延生长的组合式纯化母液的方法。该方法首先将母液在高纯氢气气氛下高温烘烤3-8小时，然后将母液快速冷却至室温后将微量稀土元素加入到上述母液内熔融1.5-2小时后，炉温缓降至生长温度后拉动滑板使衬底与母液接触，从而外延生长出高纯、高阻的外延薄膜。本发明的优点是：提供一种工艺简便、操作可重复性高的应用于液相外延生长的母液提纯方法。运用该方法获得的外延材料具有较低的载流子浓度。