一种钕铁硼重稀土渗透方法及其装置

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本发明涉一种钕铁硼重稀土渗透方法及其装置，包括主体、中频电源、冷却液循环装置、补气装置与抽真空装置，主体为密闭结构，中频电源固定在主体外部，中频电源通过电源线分别连接有左铜极板和右铜极板，基板安装在主体内部，基板接地，冷却液循环装置、补气装置和抽真空装置均固定在主体外部，并通过各自的管路与主体连接，左靶材固定在左铜极板上，右靶材固定在右铜极板上。本发明采用中频孪生靶溅射技术，沉积速率非常快，是直流单靶的数倍；膜内缺陷低，本发明装置采用滚筒式结构，可以让工件表面沉积的镀膜更均匀, 多靶头以及可旋转靶头的设计，不但可以充分利用装置内部空间，还可实现靶源的快速切换，减少靶材的更换频率，提高生产效率。