萤光粉之物理制作方法及其萤光粉及其照明结构

文件类型：PDF文档
文件大小：10773K
本发明系关於一种萤光粉之物理制作方法及其萤光粉及其应用时之照明结构，制作方法系於石英基板上磁控溅镀氧化锌以及铝或锰，再将掺杂有铝或锰的氧化锌薄膜进行退火，使位於石英基板的矽原子扩散至此薄膜并进而形成掺铝之矽酸锌薄膜或掺锰之矽酸锌薄膜，其表面具有复数个呈颗粒状的奈米结晶，具有萤光粉之性质，不需要用到稀土元素。而於应用时，掺金属之矽酸锌薄膜将以反向照光激发的方式进行照明。