固体氧化物的加工方法及其装置

文件类型：PDF文档
文件大小：2067K
本发明提供一种能够不使用一切以稀土为主的研磨剂、研磨颗粒，并且不使用一切氟化氢等操作困难、环境负担大的溶液，对光学玻璃材料等固体氧化物可以不导入加工变质层而进行加工的固体氧化物的加工方法及其装置。在水(1)的存在下，以通过氧结合了1种或2种以上的元素的固体氧化物作为被加工物，作为加工基准面(3)使用帮助水分子解离、切断构成固体氧化物的氧元素与其它元素的反向键并吸附、通过水解生成分解产物的催化剂物质，在水的存在下，使被加工物(5)与加工基准面接触或配置得非常接近，使加工基准面的电位为不产生H2和O2的范围，使被加工物与加工基准面相对运动，从被加工物表面除去分解产物。