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本发明公开了一种工件表面低温固体多元渗硼工艺，其步骤包括渗前压缩变形处理、渗前多边化处理、共渗剂配制、工件装箱、硼铬稀土共渗。其中在硼-铬-稀土共渗步骤中，自制渗箱用双层水玻璃泥密封后，室温放置24小时，再升温至570℃-600℃，到温入加热炉，保温6小时，随炉冷却处理。发明具有工件表面硼化物层脆性小、较为连续、与基体结合牢固、硼化物层相对较厚、约为15～23μm、应用领域广、经济性好等优点。