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本发明属于稀土发光材料技术领域,涉及一种铕离子激活硅基氮氧化物绿色荧光粉及制备方法。其化学组成成分可由下述化学式表示:M3(1-x)Si2O4N2 : 3xEu2+,其中M元素为Ca,Mg,Sr,Ba等碱土金属元素,0.002≤x≤0.01,Eu2+是掺入的稀土离子。本发明通过高温固相合成法合成所述绿色荧光粉M3(1-x)Si2O4N2 : 3xEu2+,在近紫外光的激发下发出强的绿光,激发波长为270~450nm范围内具有很强的吸收,发射主峰位于510nm左右,并且其发光效率高、强度高、热稳定性好,可用于高显色性白光LED,其制备方法简单,反应条件温和,易于操作,节能省时,在固体照明领域具有极好的应用前景。