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本申请涉及一种薄膜太阳能电池及其制备方法。该薄膜太阳能电池包括:金属衬底和背电极,所述金属衬底和背电极之间设置有阻挡层,其中,所述阻挡层的材质为掺杂有稀土元素化合物的陶瓷材料,所述陶瓷材料选自金属氧化物和金属氮化物中的至少一种,所述稀土元素化合物选自稀土元素氧化物和稀土元素氮化物中的至少一种。本申请采用金属氧化物和/或金属氮化物掺杂稀土元素氧化物作为制备阻挡层的材料,能够通过具有阻挡性能的材料及钉扎晶界的活性元素效应,阻碍金属衬底中的Fe、Cu等元素向Mo电极和CIGS吸收层的扩散,同时由于稀土元素氧化物的增韧效应使该阻挡层体系更加稳定,从而在较薄的阻挡层厚度下获得更为优异的阻挡性能。