一种在航空发动机压气机叶片表面制备抗侵蚀涂层的方法

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本发明公开了一种在航空发动机压气机叶片表面制备抗侵蚀涂层的方法，属于涂层制备技术领域。本发明采用空心阴极电子枪辅助电子束物理气相沉积，通过控制蒸发靶材成分、空心阴极电子枪电流、电子束蒸发电流、反应气体种类及流量，可在航空发动机压气机叶片表面制备抗侵蚀涂层。本发明所述的抗侵蚀防护涂层为MeX类型，其中Me可以为Ti、Cr、Zr、Y、Al、Si、V、B、Hf、Nb、Mo、稀土族元素或其组合，X可以为O、N、C或其组合。该抗侵蚀防护涂层可以沉积在不锈钢、钛合金等多种金属基体上，亦可作为刀具模具等需具有抗冲蚀磨损、抗冲刷腐蚀等性能的零部件表面防护涂层。