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本发明涉及一种用于射频超导腔的稀土掺杂铌材, 属于超导加速器技术领域。该稀土掺杂铌材为掺入钪或钇元素的高纯铌材,掺入的钪或钇的原子比含量范围为0.01%~0.5%。其制备方法包括冶炼掺杂方式或离子注入方式。冶炼掺杂方式制备的稀土掺杂铌材使得杂质原子在铌材内均匀分布;离子注入方式制备的稀土掺杂铌材则仅在铌材表层500nm的范围内有杂质原子分布。本发明的铌材可以减小材料的电子平均自由程,提高下临界磁场和上临界磁场。用该材料制备的射频超导腔具有更高的失超磁场,能工作在更高的磁场下,提供更高的加速电场。本发明的冶炼掺杂的方法相对比较简单,制备的速度快。离子注入的方法易于控制掺杂含量,节省钪及钇的用量。