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使用於反射膜及/或透过膜,或者电气配线及/或电极的银合金膜,及银合金溅镀靶以及银合金填料

2025-06-19 07:194300下载
文件类型:PDF文档
文件大小:1095K
本发明提供呈现与纯银膜几乎同程度的低电阻率,而且比从前的银合金膜在耐久性(具体而言为耐盐水性或耐卤素性)及与基板之密接性优异,进而,在以溅镀法形成前述银合金膜时,溅镀时的成膜速度与纯银差不多快的银合金膜。本发明之前述银合金膜,系用於反射膜及/或透过膜,或者电气配线及/或电极;含有:由Pd、Au、及Pt构成的群所选择的至少1种元素0.1~1.5原子百分比;稀土类元素之至少1种、Bi、及Zn构成的群所选择的至少1种元素0.02~1.5原子%;其余为银及不可避免的不纯物所构成。


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