铈系研磨材

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本发明的一个目的是提供一种铈系研磨剂，其将显著提高研磨速度，同时抑制磨损划痕的产生。 本发明涉及一种铈系研磨剂，其特征在于，相对于全部稀土氧化物(即， Treo)为95质量%或更高，并且从更小的粒径观察并通过激光衍射和衍射方法评估的累积体积50%的粒径(D50)的值在1.3-4.0m的范围内。 如果通过基于Cu-K1的X-射线衍射分析评估的氧化铈中最大峰的半最大全宽为0.1-0.5°，则对于本发明的铈磨料是优选的。 2θ。