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本发明涉及一种掺杂稀土光纤预制棒的制造方法,包括制作含包层的石英玻璃衬底管;配制凝胶料,将配制好的凝胶料灌入石英玻璃衬底管管内,形成凝胶并老化;对管内的老化凝胶进行超临界干燥处理,形成一个掺杂了稀土及辅助掺杂化合物的高孔隙率的气溶胶;对气溶胶进行预氧化处理,使得气溶胶中的非氧化物在氧气和氦气的混合气中转化成氧化物;再在气溶胶中通氯气和氧气进行脱水处理;将含有气溶胶的石英玻璃衬底管用高温烧结熔缩成石英预制棒,即制成掺杂稀土光纤预制棒。本发明可以制造芯径大于5mm,掺杂均匀,基底损耗低的大芯径掺杂稀土光纤预制棒。有效地降低了水峰,实现了在1383nm处的光纤附加损耗小于10dB/km。