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本发明公开了一种精密型铈锆基固溶体稀土抛光粉及其制备方法，精密型铈锆基固溶体稀土抛光粉，含有如下重量份的组分：氧化铈50-95％，氧化锆5-40％，氧化铁0.1-10％。采用本发明制备的抛光粉，具有成本低，抛光粉的悬浮性小，耐磨性高，抛光粉的有效利用率高，产品质量稳定等优点，可应用于液晶显示、光学元件、集成电路等领域的精密抛光加工。