铈系研磨材料

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本发明提供研磨速度快，能够实现研磨损伤的发生极大减少的研磨面的铈系研磨材料。本发明是含有F，且含有稀土类元素的Ce和选自14种Ce以外的稀土类元素Y、La、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu的一种稀土类元素(RE*)的铈系研磨材料，该研磨材料中的F含量为5.0～15.0质量%，氧化铈的质量占总稀土类氧化物换算质量的比例为48质量%～90质量%、RE*的氧化物的质量占总稀土类氧化物换算质量的比例为8质量%～50质量%、CeO2和RE*的氧化物的合计质量占总稀土类氧化物换算质量的比例为98质量%以上，选自从Y、La、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu这14种除去稀土类元素RE*后的13种中的稀土类元素满足上述13种ORE的各氧化物的质量占总稀土类氧化物换算质量(TREO)的比例为0.5质量%以下。