一种图案化钇钡铜氧高温超导薄膜的制备方法

文件类型：PDF文档
文件大小：1112K
本发明公开了一种图案化钇钡铜氧高温超导薄膜的制备方法，包括：(1)低氟感光溶液的配制，有效成分的摩尔比为：稀土醋酸盐：醋酸钡：醋酸铜：三氟乙酸：丙烯酸：苯甲酰丙酮：甲醇＝1：2：3～4：3～6：6～12：3~4：60～240；(2)镀膜；(3)曝光与溶洗；(4)低温预处理；(5)终处理。本发明的图案化钇钡铜氧高温超导薄膜的制备方法，在该改进的不含胺根离子的低氟溶液基础上，进一步采用化学络合技术，赋予其光性，并结合紫外曝光，溶洗，热处理，获得具有特定图案化的YBCO超导薄膜图形。这一工艺技术路线具有成本低廉，工艺周期短，薄膜微图形性能优良的特点。