一种用於酸洗槽之发热膜体层

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本发明系提供一种半导体制程设备中, 系於该酸洗槽本体之部分槽外壁上附着有该发热膜体层, 其特徵在於 : 其系包含具有稀土族物质之耐热材料。藉此, 本发明之发热膜体层具有较佳之受热强度及散热特性, 进而具有较佳的发热稳定度, 易於受热, 效率更高, 更节省能源。