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能够以高生产效率及低成本制造出永磁铁,其使Dy、Tb附着到规定形状的铁-硼-稀土类系的烧结磁铁表面,并扩散到其晶界相中后形成。在处理室内配置铁-硼-稀土类系的烧结磁铁,加热到规定温度的同时,使配置在同一或另一处理室内的至少含有Dy及Tb中的一种的氟化物构成的蒸发材料V蒸发,使该蒸发的蒸发材料附着到烧结磁铁表面,使该附着的蒸发材料的Dy、Tb的金属原子在烧结磁铁表面上形成由蒸发材料构成的薄膜之前扩散到烧结磁铁的晶界相中。
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