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平板显示器用配线膜

2025-06-18 19:061710下载
文件类型:PDF文档
文件大小:2473K
本发明的平板显示器用配线膜,由如下第一层和第二层层叠而成的层叠结构构成:第一层,其含有从Mo、Ti、Cr、W和Ta所构成的群中选择的至少一种以上的高熔点金属;第二层,其由含有0.01原子%以上且低于0.2原子%的稀土类元素、Ni和Co之中至少一种以上的Al合金构成。该配线膜即使经受400℃以上且500℃以下的高温的热过程,仍可抑制配线电阻的上升,也不会发生小丘等,耐热性优异。


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