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半导体器件及其制造方法

2025-06-18 01:382580下载
文件类型:PDF文档
文件大小:1028K
本发明涉及半导体器件及其制造方法。提供了一种形成半导体器件的方法,其包括在所述衬底的p型器件区域的顶上形成含Ge层。之后,在衬底的第二部分中形成第一电介质层,并且将第二电介质层形成为覆盖在所述衬底的所述第二部分中的所述第一电介质层之上且覆盖在所述衬底的所述第一部分之上。然后,在所述衬底的所述p型器件区域和所述n型器件区域的顶上形成栅极结构,其中所述n型器件区域的栅极结构包括稀土金属。


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