单涂层的厚氧化物膜

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一种制品，包括衬底和沉积在所述衬底上的均质金属氟氧化物中间膜层，所述中间膜包含稀土金属、碱土金属和过渡金属。所述中间膜具有小于20％的缺陷密度，并且在热处理后能够转化成化学计量厚度大于1μm且至多5μm的稀土金属-碱土金属-过渡金属-氧化物超导体膜。还公开了另一制品，包括衬底和化学计量厚度大于1μm且至多5μm的均质超导体膜。此外，公开了制备这两种制品的方法。