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本发明公开了稀土元素激活的碱土硅酸盐荧光粉的制备方法,碱土硅酸盐荧光粉的化学表达式为M2-xSiO4 : xRe,其中,M为Ca、Mg、Zn、Sr、Ba中的任意一种或上述几种元素的组合;Re为Ce、Tb、Eu、Dy、Sm中的一种或几种的组合,x≤0.4。本发明按化学计量比称取上述元素的可溶盐,Si元素通过正硅酸乙酯(TEOS)引入,将各组分制成均相溶液,在凝胶制备过程中引入微波炉干燥法制备硅酸盐碱土荧光材料。本文公开的方法能耗低,周期短,所得产品分散性好、粒径小、粒度分布集中、近球形,优化了材料的结构性能,为LED封装获得均一、致密涂层提供了便利条件,对改进LED性能有积极推动作用。