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本发明涉及一种在玻璃基片上制备掺杂稀土元素的陶瓷复合薄膜的方法,其特征在于,具体步骤为:第一步:对玻璃基片的表面进行羟基化预处理;第二步:将第一步处理后的玻璃基片浸入含有稀土的溶胶,静置,将玻璃基片向上提拉出溶胶,在干燥器中干燥后,烘干;第三步:将第二步所得的玻璃基片放入马弗炉中,升温至650~750℃,保温,在炉内自然冷却至室温,在玻璃基片上形成掺杂稀土元素的陶瓷复合薄膜。本发明在羟基化的玻璃基片上得到致密、均匀、表面平滑的掺杂稀土元素的陶瓷复合薄膜,由于有稀土元素的存在,可以改善薄膜的摩擦学性质,提高薄膜的减摩性。本发明制备工艺简单,成本低,对环境无污染,得到的薄膜达到纳米级别,成膜性好。