含氮官能团取代烷氧基稀土金属镧和钆配合物及其合成方法与应用

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含氮官能团取代烷氧基稀土金属镧和钆配合物，用下式表示：含氮官能团取代烷氧基稀土镧和钆配合物应用在原子层沉积技术上，具有足够的挥发性，合适的热稳定性，足够的反应活性，底物的匹配性并且价格合适、容易制备、低毒性等优点。