一种磁光记录介质镀膜用稀土过渡合金旋转靶材的制备方法及其制备靶材

文件类型：PDF文档
文件大小：265K
本发明公开了一种稀土‑过渡合金旋转靶材的制备方法及其制备靶材，所述方法包括：稀土过渡金属合金的制备，真空浇注稀土过渡金属合金中空靶管，热等静压浇注好稀土过渡金属合金靶管，机械加工，铟绑定。通过本方法制备的稀土过渡合金旋转靶材，成分均匀，相对密度可达到99.9％，纯度可达到99.99％，长度不受限制，克服了旋转靶材成分偏析，脆性大等缺点，降低了靶材的孔隙率，使其在使用过程中稳定放电，从而提高磁光记录介质薄膜的品质。另外，该方法工艺简单，操作方便，在热等静压时，不需要常规的包套及氩弧焊，减少后续工序，可对靶管直接进行热等静压，降低生产成本。