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本发明提供了一种铈掺杂稀土卤化物单晶的处理方法,包括:将待处理的铈掺杂稀土卤化物单晶置于密闭容器中;将所述密闭容器置于均匀温场中;对所述密闭容器进行抽真空并通入保护性气体;和退火处理。本发明的处理方法能够有效消除铈掺杂稀土卤化物单晶的内部应力,并改善其机械性能。
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