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本发明涉及一种精密合金的冶炼加工工艺,包括以下步骤:1)选原料:电极碳、结晶硅、金属锰、金属铬、海绵钛、电解镍、稀土元素,电解镍使用前须经滚磨,去除表面氧化物及污垢;2)装料:将镍、铬装在坩埚内,料仓中也装少量的镍,料仓内装料的顺序为:Ni-1/2C-1/2C-Si-Mn-稀土;3)供电:开始供电时最大功率不应超过60千瓦,半小时后再以最大功率供电,直至炉料全部融化;4)真空冶炼:在真空感应炉中待镍、铬全熔后,提升温度5分钟,温度升到1530~1550℃,分别加入两批碳,加碳后待真空度达5μ时即开始精炼,精炼时间20分钟,精炼后即开始加入合金元素硅,加入锰和稀土前通氩气保护。本发明工艺合理,使用方便,适于航空级精密合金6j20扁丝生产。