单晶硅片表面制备多巴胺-稀土复合薄膜的方法

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一种微机电系统技术领域的单晶硅片表面制备多巴胺-稀土复合薄膜的方法，以单晶硅片作为基底材料，在其表面沉积多巴胺后，将沉积有聚多巴胺薄膜的单晶硅片膜置于稀土溶液中进行自组装，制备得到多巴胺-稀土复合薄膜。本发明通过自组装技术以多巴胺为中间连接体，制备摩擦性能优良的稀土膜，可大大提高硅基薄膜的摩擦学性能。