包含稀土金属或它们的氧化物的靶的保存方法

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本发明涉及一种包含稀土金属或其氧化物的靶的保存方法，用于保存包含稀土金属或其氧化物的靶，其特征在于，在该靶的保存用容器或薄膜状的密封件中，引入与保存的包含稀土金属或它们的氧化物的靶相同的稀土金属的氧化物作为干燥剂，并将所述保存用的容器或薄膜状的密封件密封进行保存。本发明的课题在于对包含稀土金属或其氧化物的靶的保存方法进行设计，提供抑制空气的侵入引起的靶的氧化和氢氧化而导致的粉化，从而可以长时间保存的技术。