表面覆盖部件及其制造方法以及工具和加工装置

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本发明提供一种表面覆盖部件，该材料是，维氏硬度(Hv)与以往的高硬度覆膜相同或在其以上，并且具有表示耐氧化性的氧化开始温度比以往的高硬度覆膜高的高硬度覆膜。在本发明中，在基体材料上形成涂层，所述涂层含有以Al和选自Zr、Hf、Pd、Ir以及稀土元素中的至少一种元素作为主要成分的复合氮化物。