流体分布装置和用于形成该流体分布装置的方法

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提供一种流体分布装置和形成该装置的方法。流体分布装置包括主体、填充部、入口和出口。主体由包括硼、铝、硅、镓、耐火硬金属、过渡金属和稀土金属的元素的氮化物、碳化物、碳氮化物和氧氮化物中的至少一种，或者这些材料的复合物或组合物形成。填充部位于主体内。入口贯通主体的第一部分并且与填充部流体连通，出口贯通主体的第二部分并且也与填充部流体连通。