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本发明涉及一种纳米复合薄膜技术领域的石英基片表面磷酸基硅烷碳纳米管复合薄膜的制备方法,首先进行石英基片的预处理,石英基片采用羟基化处理;再将碳纳米管在室温下浸入稀土改性剂中浸泡2~6小时,过滤后烘干;将处理得到的碳纳米管按0.05~0.15mg/ml放入N,N-二甲基甲酰胺分散剂,超声波分散2~6小时,得到稳定的悬浮液;将表面组装有磷酸基团的薄膜基片浸入制备好的碳纳米管悬浮液中,在20~60℃静置4~16小时,取出用大量去离子水冲洗,冲洗后用氮气吹干,这样就得到表面沉积有改性碳纳米管复合薄膜的石英基片。本发明工艺方法简单,在石英基片表面制备的碳纳米管复合薄膜具有良好的光学特性。