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本发明公开了一种稀土掺杂的氮氧化物荧光粉材料及其制备方法,包括如下步骤:(1)按照化学通式A1-xByOzN2/3+4/3y-2/3z : xRE称取含有A、B、RE元素的固体化合物并将其研磨、混合、烧结后得到化合物A(1-x)2SiO4 : 2xRE2;(2)按照化学通式A1-xByOzN2/3+4/3y-2/3z : xRE中A、B、RE的摩尔比将步骤(1)所得化合物A(1-x)2SiO4 : 2xRE与含B元素的氮化物进行研磨、混合得到混合物;(3)在步骤(2)中混合物中加入催化剂进行烧结;(4)将步骤(3)烧结产物冷却后取出研磨、洗涤,即得氮氧化物荧光粉。本发明既可以使催化剂充分作用于整个合成过程,而且有利于合成中的残余物的充分排出,最终可以得到晶化纯度较高的氮氧化物荧光粉,提升了氮氧化物荧光粉的光学性能,该方法可操作性强,原料价格低廉,工艺窗口宽,适于大规模工业化生产。