一种稀土离子掺杂Lu2O3发光薄膜的制备方法

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本发明涉及一种稀土离子掺杂Lu2O3发光薄膜的制备方法，采用Pechini溶胶-凝胶法并结合旋涂技术来制备Lu2O3薄膜，使用LuCl3·6H2O作为原料，使用柠檬酸(C6H8O7)作为螯和剂、聚乙二醇(PEG)作为交联剂；采用一步预热处理的方法来对前驱体溶胶薄膜进行热处理，有效地防止薄膜开裂。经过旋涂-干燥重复了3～30次后，在550～1000℃之间煅烧1小时，可得到均匀、致密的多晶氧化镥发光薄膜，其厚度为120nm～2μm之间，晶粒尺寸在15～50nm之间，发光波长随着掺杂离子组分的变化而变化。