一种化学溶液法制备高温超导薄膜的方法

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本发明提供一种高温超导薄膜的制备方法。首先配制前驱液，把Y(CH3COO)3、RE(CH3COO)3、Ba(CH3COO)2和Cu(CH3COO)2按照(Y+RE)∶Ba∶Cu＝1∶2∶3(其中RE为Nd，Sm，Eu，Gd，Dy)的摩尔比混合溶于20-30摩尔％三氟乙酸的水溶液中；搅拌均匀后真空蒸干溶剂得到凝胶；再加入甲醇搅拌均匀后蒸干溶剂得到凝胶；随后加入适量甲醇，制成Y、RE、Ba和Cu金属离子总浓度为0.8-3.0mol/L的前驱液；然后，将前驱液涂覆在基体上；涂覆好的薄膜先经历400℃～410℃的低温热处理过程，分解三氟乙酸盐；最后经历800℃～850℃高温热处理和490℃～510℃的退火过程形成掺杂稀土元素的YBCO薄膜。