含镧族元素之前驱物之制备以及含镧族元素之膜之沉积

文件类型：PDF文档
文件大小：1411K
本文描述沉积含稀土金属之层之方法及组成物。一般而言，所揭示之方法使用诸如化学汽相沉积或原子层沉积之汽相沉积方法沉积包含含稀土金属之化合物之前驱化合物。在某些具体实例中，所揭示之前驱化合物包括具有至少一个脂族基作为取代基之环戊二烯基配位基。