基板对准装置及使用该装置对准基板之方法

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本发明揭示一种用於对准一基板之装置及方法。该装置包括：一参考盘，其具有形成於一下表面之边缘的梯阶；一夹具，其能够经由该参考盘之该边缘升高或降低，且具有一被弯曲之下端，以允许一基板被放置在其上；一遮罩框固定器，以固定其上耦接一金属遮罩之框；一耦接至该遮罩框固定器之对准盘，其能够升高及降低；以及一精确对准机构，以使该基板及该金属遮罩互相准确对准。可以将一基板之下垂量缩小至一传统装置之下垂量的1/5位准或更低。该装置进一步包括一穿过该参考盘之磁铁，允许将该基板及该金属遮罩互相紧密地接触。 Disclosed herein is an apparatus and method for aligning a substrate. The apparatus comprises a reference plate having a step formed at an edge of a lower surface, a clamp capable of lifting and lowering through the edge of the reference plate and having a lower end bent to allow a substrate to be loaded thereon, a mask frame holder to hold a frame having a metal mask coupled thereto, an alignment plate coupled to the mask frame holder and capable of lifting and lowering, and a fine alignment mechanism to finely align the substrate and the metal mask with each other. A sagging amount of a substrate can be reduced to such a level of 1/5 or less of that of a conventional apparatus. The apparatus further comprises magnets which penetrates the reference plate, allowing the substrate and the metal mask to be brought into close contact with each other. [创作特点] 提出本发明是为了解决上述问题，本发明之一目的是提供一种用於对准基板之装置及方法，其可以防止该基板下垂。; 根据本发明之一态样，可以藉由提供一基板对准装置而实现上述及其他目的，该装置包括：一参考盘，在一较低表面之边缘形成一梯阶，使得该参考盘之边缘厚於或等於该参考盘之内部区域；一夹具，其能够透过该参考盘之边缘升高或降低，且具有一被弯曲之下端，以允许一基板被加载於该被弯曲下端上；一固定一框之遮罩框固定器，一金属遮罩被耦接至该框；一放置在该夹具上方之对准盘，被耦接至该遮罩框固定器之上端，且能够升高及降低；以及一精确对准机构，以使该基板及该金属遮罩相互准确对准。; 该夹具可以在其外周边具备一弹簧，以便当该对准盘被降低时，允许该夹具降低，且将该基板从被夹紧状态释放；当该对准盘被升高时，允许该夹具经由该弹簧之一弹性恢复力升高，将该基板夹至该参考盘之一低表面上。; 该精确对准机构可包括：一侦测一对准标记之摄影机；一透过该摄影机之侦测确定该金属遮罩之移动距离的控制器；以及一对准级，以回应来自该控制器之讯号在三轴方向上(x, y, θ)移动该对准盘及耦接至该对准盘之金属标记遮罩。; 该夹具可被作为该对准盘之补充的分离夹具释放机构升高或降低。该夹具释放机构可包括：一升高盘，使其与该夹具之一上端接触；以及一驱动单元，用以升高或降低该升高盘。; 该参考盘可以被提供於一磁盘之上侧，该磁盘具有至少一个从该磁盘之下表面伸出之磁铁，该参考盘上可形成一对应於该磁铁之孔，以允许该磁铁从中穿过。; 该等磁铁既可以为永久磁铁，亦可以为电磁铁。该永久磁铁可以为铁磁体橡胶磁铁及稀土钕磁铁之一。; 该装置可进一步包括一预对准机构，以预先对准被加载於该夹具上之基板。; 根据本发明之另一态样，提供一种用於对准一基板之方法，其包括：将该基板加载於一夹具上，其与一参考盘之下表面间隔一距离；藉由同时升高该夹具及一金属遮罩首先将该基板夹至该参考盘；藉由降低该夹具将该基板从被夹紧状态释放；藉由进一步升高该金属遮罩将该基板与该参考盘紧密接触；然後藉由升高该夹具将该基板夹紧至该参考盘；精确对准该基板；藉由位於该参考盘上之一磁盘的磁力，使该基板与该金属遮罩互相紧密接触。; 该方法可进一步包括在将该基板加载至该夹具之後，利用一空气筒预对准该基板。