一种非平衡磁控溅射稀土多元类石墨复合膜及其制备方法

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本发明公开的一种非平衡磁控溅射稀土多元类石墨复合膜，由依次复合的等离子渗金属层、 Cr/RE过渡层、C/Cr-RE梯度层及C/Cr-RE多元复合层组成，Cr/RE过渡层按照质量百分比其组 成为：RE：0.1％～1％，余量为Cr；C/Cr-RE多元复合层按照质量百分比其组成为：Cr：3％～ 15％，RE：0.3％～10％，过渡簇金属元素：0.3％～10％，余量为C。制备非平衡磁控溅射稀土多 元类石墨复合膜的方法，首先确定复合膜成分，计算高纯铬靶和高纯碳靶上安装的稀土镶块 的数量及高纯碳靶上镶嵌的过渡簇金属镶块数量，制备相应的镶块并进行安装，磁控溅射得 到复合膜。本发明解决了现有的非平衡磁控溅射固体润滑复合膜热稳定性和抗电化学腐蚀性 差的问题。