一种钛酸铋铁电薄膜及其制备方法

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本发明公开一种钛酸铋铁电薄膜及其制备方法，该薄膜是镍与稀土共掺杂 钛酸铋铁电薄膜，其化学式为(Bi4-xLnx)(Ti3-yNiy)O12，其中，x大于等于0小于 等于0.85，y大于等于0小于等于0.1，稀土为钕、镧、镨、镝、钬、铒、铕、 铥或镱。本发明的薄膜可通过调整镍与稀土的用量比例来控制和调节薄膜的铁 电及介电性能，是一种在光电材料等领域具有广泛应用前景的功能薄膜材料。 本发明采用溶胶凝胶法制备所需薄膜，控制化学成分容易，所配制的前驱体溶 液不仅稳定性好，而且能达到分子级别水平，所制得的薄膜均匀致密无裂纹。