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一种薄膜制备的方法,该方法包括在基材上放置前体溶液以形成前体膜。所 述前体溶液包含:稀土/碱土金属/过渡金属氧化物的前体组分,该前体组分包含溶 于一种或多种溶剂的稀土元素的盐、碱土金属的盐和过渡金属的盐,其中至少一种 盐是含氟的盐。所述前体溶液还包含一种添加剂组分或掺杂剂组分,其中所述添加 剂组分包含一种或多种能够单独或与前体溶液中的一种或多种前体组分组合形成 第二相纳米颗粒的金属化合物,所述掺杂剂组分包含能够取代所述稀土/碱土金属/ 过渡金属氧化物中一种元素的一种或多种金属化合物;处理所述前体膜,形成包含 所述前体溶液中的稀土、碱土金属、过渡金属和添加剂金属或掺杂剂金属的中间体 金属氟氧化物。