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本发明公开了一种陶瓷加热器,所述陶瓷加热器能阻止由热应力 引起的故障,如破裂,并能阻止由钙成分引起的腐蚀。所述陶瓷加热 器具有加热元件和基体,所述加热元件包括至少一种选自如下的物质 作为主要成分:钼的硅化物、氮化物和碳化物以及钨的硅化物、氮化 物和碳化物,所述基体主要含有氮化硅,在该基体中嵌有加热元件, 其中所述基体包括:稀土元素成分,以其氧化物形式计为4~25质量%; 铬的硅化物,其以硅化铬形式计为1~8质量%;以及铝成分,其以氮 化铝形式计为0.02~1.0质量%。