具有提供电浆抗性之保护层的基材支撑件

文件类型：PDF文档
文件大小：1709K
本发明的实施例提供一种具有增强电浆耐受性之保护层的基材支撑组件。在一实施例中, 一种基材支撑组件包括具有基材支撑上表面的静电吸盘、和设置在静电吸盘上的保护层, 其中保护层系由含有稀土金属的陶质材料制成。