高耐电压性构件

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[用以解决课题之手段]本发明为一种高耐电压性构件，其特徵为由含有原子序64~71的稀土元素(Rere earth elements)氧化物之溶射皮膜所构成之高耐电压溶射皮膜材料。[发明之效果]本发明提供一种高耐电压性构件，可妥适地作为介电体滚筒(dielectric roll)、加热基板、半导体制造装置的静电吸盘构件、微波发热体等之用。