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本发明涉及一类氧化锗材料的液相沉积制备方法,属于材料制备技术领域。以氨水为络合剂,以水为溶剂,以加热搅拌方式促进了氧化锗在水中的溶解,经过滤处理后制得制备氧化锗基材料的优良先驱体。将该先驱体与其它溶液态或溶胶态物质按设定比例混合并经热处理就可得到各种形式的氧化锗类材料或氧化锗类掺杂材料。本发明原理简单、无需任何专门设备、原料普通、无潜在危险和毒性、反应条件温和可控、不仅能够低成本、高质量地合成氧化锗材料,而且也能够低成本地合成氧化锗基其它材料,如SiO2-GeO2,TiO2-SiO2-GeO2,稀土元素掺杂GeO2材料,GeO2掺杂其它基体材料等等。