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一种场效电晶体,包括:一基板;一钝化层;一闸极绝缘层,形成於该基板与该钝化层之间;一源极及一汲极,形成与该闸极绝缘层接触;一半导体层,形成於至少在该源极及该汲极之间,且与该闸极绝缘层、该源极及该汲极接触;以及一闸极,与该闸极绝缘层接触,且经由该闸极绝缘层面对该半导体层,其中该钝化层包括一第一复合氧化物,该第一复合氧化物包括一硷土金属以及一稀土元素,且其中该闸极绝缘层包括一第二复合氧化物,该第二复合氧化物包括一硷土金属以及一稀土元素
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