铈系研磨材料

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本发明的目的是提供研磨速度更高，损伤发生更少的铈系研磨材料。本发明的铈系研磨材料是以氟(F)和稀土类氧化物为主成分的铈系研磨材料，前述稀土类氧化物中所含的稀土类元素至少有铈、镧、镨和钕，并且在该铈系研磨材料中，氧化钕的重量占总稀土类氧化物换算重量(TREO)的比例(Nd2O3/TREO)为0.001重量％～5重量％。使用该研磨材料研磨玻璃等研磨对象面，则与使用以往的铈系研磨材料相比，能够以更短的时间进行研磨。而且，能够更切实地防止在经研磨所得到的研磨面上产生损伤。