合成石英玻璃基板用研磨剂及其制造方法以及合成石英玻璃基板的研磨方法

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本发明系一种合成石英玻璃基板用研磨剂，其系包含研磨粒子及水而成之合成石英玻璃基板用研磨剂，其特徵为：前述研磨粒子系以二氧化矽粒子作为母体粒子，於该母体粒子之表面上担持有铈与由铈以外的其他3价稀土类元素所选出的至少1种稀土类元素之复合氧化物粒子者藉此，提供一种合成石英玻璃基板用研磨剂，其系具有高的研磨速度，同时能充分减低因研磨所致的缺陷之发生